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Dry Processing Workshop — PLASMA & ATOMIC SCALE PROCESS TECHNIQUES
24 sep 2024 - 25 sep 2024 • University of Stuttgart, Allemagne
Organisateur:
Oxford Instruments, in collaboration with the Institute for Microelectronics in Stuttgart (IMS CHIPS).
Résumé:
The Dry Processing Workshop is an interactive workshop for Oxford Instruments Plasma Technology equipment users, presented by Oxford Instruments and hosted at the University of Stuttgart/ZAQuant.
Identifiant de l'évènement:
1621485


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Dernière mise à jour: 3 juin 2024